完結感言(2 / 2)

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半導體產業四大核心設備——光刻機、離子注入機、刻蝕機、薄膜沉積機,這其中光刻機是最經常被人提及的,原因很簡單,因為光刻機是最難的。

楊東升也是正式涉足光刻機領域後,才知道這一塊有多難。

如果是追著外國人的屁股研究的話,他們永遠別想趕上別人,而且永遠也別想盈利,他們無論做出何種等級的設備,西方國家馬上就會解除對同等設備的禁運,一點市場也別想拿到。

得益於楊東升的先知先覺,東升半導體決定直接上馬極紫外線光刻相關技術。

楊東升敢這麼做,是因為光刻機不是必須做出第一代設備,才能做第二代設備。

光刻機三大核心部件——光源、鏡頭、工作台。

其中的關鍵技術光源,深紫外線使用的是準分子激光,跟下一代極紫外線光源關聯很少!

而且準分子激光技術應用很廣泛,此項技術不止美國一家掌握,想繞過美國相對簡單,相比之下極紫外線光源技術就比較妖孽了。

後世阿斯麥的極紫外線光刻機,使用的光源是采用激光持續轟擊錫滴產生的。

由於錫滴發光效率很低,極紫外線又隻占所有光線的百分之幾,因此必須使用足夠強的激光轟擊錫滴,才能發出足夠的光——至少得是3萬瓦以上,而且還得持續不停的轟擊。

大功率激光問題,準確命中錫滴……每一項都是要命的技術。

在鏡頭上,極紫外線也與深紫外線有很大不同,極紫外線非常容易被吸收,深紫外線階段使用的透鏡式鏡頭已經不能使用了,因為鏡頭材料直接會把極紫外線吸收掉,必須使用反射式鏡頭。

由於極紫外線的波長隻有十幾個納米,鏡頭納米級精度已經不夠用了。

極紫外線用的反射式鏡頭,精度必須達到皮米級。

必須要用等離子拋光設備,這東西中國沒有,國外也買不來,隻能自己造。

鏡頭上還要鍍膜,把極紫外光以外的其他光線,通過鍍膜吸收掉。

這種規格的鍍膜機,也買不來,楊東升也得自己造。

這些還不算完,由於極紫外線非常容易被吸收,即便空氣也會吸收極紫外線,所以整個工作環境必須保持高度真空。

光刻機內部必須先使用普通真空泵抽一遍,再用分子真空泵抽一遍,這還不夠,必須還得用吸附式方法,再抽一遍。

楊東升敢把還在研製中的技術,拿給他們看的原因就是光刻機的整體構造,其實沒什麼秘密可言,考驗的就是實打實的工業實力。

這其實是最討厭的地方!

中國進口了上千台航空發動機,但是對自身航空發動機技術的提升,幾乎沒有任何作用,就是同樣的原因。

很多人以中國做不出極紫外線光刻機嘲笑中國科技,中國確實做不出來,但是美國人獨自也做不出來極紫外線光刻機。

荷蘭阿斯麥的極紫外線光刻機使用的是美國的光源,德國的鏡頭,瑞典的軸承,法國的閥件……可以說集合了西方所有發達國家先進技術於一身。

看似沒有秘密,其實到處都是秘密!

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